海目星Micro LED巨量转移设备|芯片转移与单点修复一体化方案

2026-09-04
产品资讯

Micro LED产业发展进程中,巨量转移与芯片修复是影响面板良率的关键环节。海目星Micro LED巨量转移设备聚焦芯片转移与单点修复一体化加工需求,面向Micro LED生产制程,可完成不同规格RGB芯片选择性转移,同时支持芯片单点修复作业,为产线提供稳定可靠的设备支撑。

 巨量转移设备

该设备可完成任意尺寸、任意间距RGB芯片的选择性转移,在修复工序中实现芯片单点转移修复,将巨量转移与补芯修复整合至同一台设备,减少产线设备投入,简化生产流程。设备采用模块式设计,上下料单元与转移主体独立拆分,搭配机械手完成自动上下料,设备综合精度≤±1μm,保障微米级芯片加工稳定性。光学端搭载激光出光控制系统与高质量光束整形系统,光斑尺寸可按需调节,光束均一性达到95%,适配多样化的芯片加工工况。

整机硬件参数扎实,设备外形尺寸为长2250mm×宽1850mm×高2450mm,整机重量3800kg;X1、X2轴最大行程400mm,Y轴最大行程450mm,满足大基板加工需求。运动平台重复定位精度±0.75μm,定位精度±1μm,平台运行速度最高可达500mm/s;Z轴重复定位精度±1μm,定位精度±1.5μm,多轴协同保障芯片拾取、放置过程的对位效果,适配高速生产场景。

在实际生产当中,面对不同批次、不同规格的RGB芯片,设备的选择性转移能力可以按需完成芯片排布,不用频繁更换核心部件,降低产线换型成本。当面板出现个别失效芯片时,依托单点修复转移功能,直接对缺陷点位做补芯处理,减少基板报废,帮助产线改善成品良率,适配AR/VR、车载显示等多类Micro LED产品的制造需求。

 巨量转移设备

转移前后对比

国产新型显示装备持续迭代,海目星Micro LED巨量转移设备以转移‑修复一体化能力,化解行业量产过程中的部分工艺难点,助力Micro LED技术向产业化落地推进。面向未来多元显示应用,Micro LED巨量转移设备将持续发挥装备价值,赋能下一代显示产业发展。


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