在光伏产业追求高效能、低成本的发展浪潮中，TOPCon 激光掺杂设备逐渐成为提升电池效率和生产效率的关键设备之一。海目星凭借深厚的激光技术积淀，研发的TOPCon激光掺杂设备凭借自主技术优势，为光伏制造工艺的优化升级提供了强有力的技术支撑。
海目星的TOPCon激光掺杂设备采用BSG（硼硅玻璃）作为掺杂源，通过独特的工艺流程实现高效的激光掺杂。具体来说，设备首先通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层，但不进行氧化，以P++层作为激光掺杂源，再进行激光掺杂和氧化工艺。这一创新工艺不仅解决了硼掺浓度问题，还简化了选择发射极的制备工艺流程，显著提升了生产效率。
具体参数方面，海目星的TOPCon激光掺杂设备尺寸为长×宽×高：5500×2300×2500（不包含三色灯、除尘机、冷水机），适用硅片尺寸涵盖182*182mm-230*230mm，能够满足不同尺寸硅片的生产需求。在产品性能上，海目星的TOPCon激光掺杂设备碎片率率控制在≤0.02%，图形精度和对准精度均达到±15um，确保了生产过程的高精度和高质量。产能方面，182尺寸硅片产能≥8400pcs/h（栅线数量<132），210尺寸硅片产能≥7300pcs/h（栅线数量<152），能够满足大规模生产的效率要求。
海目星的TOPCon激光掺杂设备以其先进的技术、卓越的性能和强大的定制能力，为光伏制造工艺的优化升级提供了有力支持。通过简化工艺流程、提升生产效率和精度，海目星的设备不仅提高了光伏电池的生产质量，还降低了生产成本，为光伏产业的可持续发展注入了新的动力。
